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儀器儀表
ANELVA佳能 皮拉尼計(耐腐蝕型) M-351PG
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來源: 作者:王定輝 時間:2017-08-15 返回 |
ANELVA佳能 皮拉尼計(耐腐蝕型) M-351PG
這是用Ni長絲,以增加耐腐蝕性的模型。它支持硬工藝設(shè)備,如反應(yīng)離子刻蝕和化學(xué)氣相沉積。

特征
1.Improved耐腐蝕
??使用NI長絲
2,良好的可重復(fù)性和低成本
3.從5×度10 -2 Pa至大氣壓
應(yīng)用
·半導(dǎo)體及電子器件制造設(shè)備
??干蝕刻設(shè)備,等離子CVD設(shè)備,LD-CVD設(shè)備
·食品和藥品的生產(chǎn)設(shè)備
??真空冷凍干燥,減壓蒸餾,滅菌設(shè)備
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