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儀器儀表
Magnescale磁尺BS65-160R
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| 來(lái)源： 作者：王定輝 時(shí)間：2017-08-15 返回 |
BS65系列型號(hào)：
BS65-160R
BS65-260R
BS65-360R
BS65-460R
BS65-560R
BS65-660R
BS65-760R
BS65-860R
BS65-996R
產(chǎn)品介紹：信號(hào)波長(zhǎng) ： 138nm
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高精度原點(diǎn)を內(nèi)蔵
精度 ： ±0.1μm
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スケール有効長(zhǎng) ： 160～960mmの9機(jī)種ラインアップ
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レーザ光波干渉計(jì)並みの高精度、
高分解能
精度 ： （0.1＋0.4L/100）μmp-p
L ： 有効長(zhǎng)
（mm）
分解能 ： 0.07nm
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マグネスケール並みの扱い易さと信頼性
（取付?調(diào)整）
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空気の流れ、
気圧変化に対して安定
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青板ガラス使用 ： 8×10
ー6
/°
C
（有効長(zhǎng) ： 160～960mm）
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主な用途
半導(dǎo)體製造裝置、検査機(jī)器、精密加工機(jī)器、精密測(cè)定器?試験機(jī)など
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